Pt-Pdを添加したWO3を用いたNH3ガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル：Pt-Pdを添加したWO₃を用いたNH₃ガスセンサ

タイトル(英語): NH₃ gas sensor using WO₃ with addition of Pt-Pd

著者名: 高橋 拓也(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Takuya Takahashi(Tokyo Denki University),Tomiharu Yamaguchi(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: 酸化タングステン,アンモニアセンサ,白金,パラジウム

要約(日本語): 本研究では、単純な構造で、低コストかつ、小型化が容易な金属酸化物半導体ガスセンサを作製し、1[ppm]程度の低濃度で検知できる高い感度とガス選択性を示すNH₃ガスセンサの開発に成功した。また、センサ膜の素材としてはNH₃に対して感度が高いことが報告されているWO₃を採用した。また、触媒として同じくNH₃に対して感度が高いことが報告されている白金(Pt)およびパラジウム(Pd)の両方をそれぞれ、1[wt%]添加した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 343 Kバイト