超薄膜水素センサの安定性の改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Stability improvement of Ultra-thin-film Hydrogen Sensor

著者名: 古川 遼(岡山大学),井並 祥太(岡山大学),菅井 良祐(岡山大学),堺 健司(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Ryo Furukawa(Okayama University),Shota Inami(Okayama University),Ryosuke Sugai(Okayama University),Kenji Sakai(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 超薄膜,水素,センサ

要約(日本語): 室温動作できる超薄膜Pt水素センサを報告してきたが、回復時間が長いという問題があった。この改善方法として、パルス電流を印加して瞬間的に加熱するという手法を用いた。しかし、そのときに超薄膜のPt層の下に接着層としてTiを用いた素子では、センサ出力がドリフトするという問題があった。本研究では、超薄膜のPt層の下に接着層として用いていたTiをTiNとしたことによって改善できたので報告する。接着層にTiを用いた素子では、パルス電流を加えたときにPt表面から拡散した酸素により酸化反応がおこることがドリフトの原因であることを明らかにした。このため、酸化しにくいTiNとすることにより熱的安定性を向上させることができることが分かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 288 Kバイト