超音波センサ用MEMS圧電ダイアフラムのパルス音波受信時の振動モードへの上部電極の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Influence of electrodes to vibration modes in impluse responses of MEMS piezoelectric diaphragms for ultrasonic microsensors

著者名: 西岡 知記(京都工芸繊維大学),西海 太貴(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tomoki Nishioka(Kyoto Institute of Technology),Taiki Nishiumi(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ,ダイアフラム,振動モード,分極分布,パルス応答

要約(日本語): 空中超音波計測用MEMS圧電ダイアフラム型センサにおいて，パルス超音波受信時の振動モードへ上部電極が与える影響について評価した。高分解能計測を可能とする複数周波数計測を目的として，上部電極は内側のセンシング電極と外側の共振周波数制御用電極に分割している。この上部電極を持つダイアフラムと持たないダイアフラムについて，減衰振動時の振動モードをレーザドプラ振動計により計測した。圧電出力に影響を与える中心対称モードに着目すると，上部電極無しでは4種類のモードが生じたのに対し，上部電極有りでは3種類のモードのみが生じた。上部電極の存在が高次モードの生成を抑制している可能性があり，複数周波数計測に有用である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 830 Kバイト