熱反応性イオンエッチング法によるマイナーメタルの微細加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-145

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Microfabrication of Minor Metals Using Thermal Reactive Ion Etching

著者名: 村田 祐貴(新潟大学),南 佑人(新潟大学),韓 剛(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Yuki Murata(Niigata University),Yuto Minami(Niigata University),Gang Han(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: マイナーメタル,難加工材,フッ素系ガス,深掘り反応性イオンエッチング

要約(日本語): 本研究では、次世代MEMS用材料として期待されるマイナーメタルに注目し、熱反応性イオンエッチング法によるそれらの加工特性の評価を行った。通常のRIEでは、加工時に発生する不揮発性の反応生成物のためにマイナーメタルは難加工性材料であるが、本研究室で開発した手法により大幅に加工特性が向上した。 例えば、SF₆ガスを使用しステージ温度を255℃にした場合、チタンとニオブの加工速度は、約3倍と約2倍へと大きく向上していることが分かった。モリブデンとニオブの加工断面は、ほぼ垂直になることが分かった。なお、本手法ではステージ温度の微調整により、加工特性の調整が可能である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 237 Kバイト