ウエハ接合を用いた焦点可変スキャナの設計と製作及び基礎測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-150

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Design, fabrication, and basic measurement of varifocal scanner using bonding process

著者名: 中澤 謙太(東北大学),佐々木 敬(東北大学),古田 裕正(パナソニックデバイスSUNX),神谷 二朗(パナソニックデバイスSUNX),佐々木 秀記(パナソニックデバイスSUNX),神谷 東志一(パナソニックデバイスSUNX),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kenta Nakazawa(Tohoku University),Takashi Sasaki(Tohoku University),Hiromasa Furuta(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., LTD),Jiro Kamiya(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., LTD),Hideki Sasaki(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., LTD),Toshikazu Kamiya(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., LTD),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: MEMS,焦点可変マイクロミラー,マイクロスキャナ,ウエハ接合

要約(日本語): 本研究ではウエハ接合技術を用いて焦点可変マイクロミラーとマイクロスキャナを集積したデバイス（焦点可変スキャナ）を提案し，設計，製作及び基礎測定を行った．ウエハ接合を用いると焦点可変マイクロミラーとマイクロスキャナに要求されるそれぞれの単結晶シリコンの厚さで設計することができる．1枚のSOIウエハ上にスキャナを形成し，もう一枚のSOIウエハに焦点可変ミラーを形成する．それらを接合し，自立させることで製作する．デバイスは静電駆動型であり，スキャナは櫛歯電極型，焦点可変ミラーは対向電極型である．共振周波数で駆動した場合，14°の走査角度と11.4 1/mの曲率を得た．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 405 Kバイト