静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-151

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Temperature Dependence of the Scanning Performance of the Electrostatic Micro Scanner

著者名: 石河 範明(富士電機),岡崎 公嗣(九州大学),澤田 廉士(九州大学)

著者名(英語): Noriaki Ishikawa(Fuji Electric Co., LTD.),Koji Okazaki(Kyushu University),Renshi Sawada(Kyushu University)

キーワード: MEMS,光スキャナ,固有振動数,温度依存性,静電駆動型

要約(日本語): 静電駆動型MEMS光スキャナはレーザープロジェクター、共焦点内視鏡など様々な機器に適用可能であるが、温度によってその振動特性が変化するという問題がある。本研究では、静電駆動型マイクロスキャナの振動依存性の測定結果について報告する。静電駆動型マイクロスキャナ単体の温度依存性を測定するため、静電駆動型マイクロスキャナのみを加熱し、その他の実験装置は室温で評価した。その結果、固有振動数とQ値は温度が高くなると低下し、その変化率は固有振動数が－0．065／℃、Q値が－0．44／℃であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 368 Kバイト