電子デバイス製造におけるスプレー洗浄時の静電気計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-043

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Static electrostatic measurement at the spray cleaning in the electrical device manufacturing

著者名: 松岡 博幸(愛知工業大学),松木 慎悟(愛知工業大学),丹菊 大輝(愛知工業大学),森 竜雄(愛知工業大学),清家 善之(愛知工業大学),小林 義典(旭サナック),宮地 計二(旭サナック)

著者名(英語): Hiroyuki Matsuoka(Aichi Institute of Technology),Shingo Matsuki(Aichi Institute of Technology),Daiki Tangiku(Aichi Institute of Technology),Tatuo Mori(Aichi Institute of Technology),Yoshiyuki Seike(Aichi Institute of Technology),Yoshinori Kobayashi(Asahi Sunac),Keiji Miyachi(Asahi Sunac)

キーワード: 静電気|純水|ファラデーケージ|スプレー|洗浄|帯電

要約(日本語): 近年の電子デバイス製造においては、スプレー洗浄による洗浄工程が多く存在する。しかし、その工程において電子デバイスに静電気障害が発生する問題がある。そこで本研究では、ファラデーケージを試作し、スプレーした飛行液滴から発生する電荷量を測定した。その結果、スプレーの噴射圧力の上昇に伴い電荷量が増加し、比抵抗値の上昇に伴い電荷量が増加した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 562 Kバイト