対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布（2）－分界面の上下および分界面通過位置により区別した電子の比較－

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-067

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Electron energy distribution in magnetized inductively coupled plasma under confronting divergent magnetic fields (2) - comparison between electrons distinguished by region and separatrix passage position -

著者名: 山本 達平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Tappei Yamamoto(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|対向発散磁界|分界面|電子閉じ込め|モンテカルロ法|電子エネルギー分布

要約(日本語): 誘導結合型プラズマに印加される対向発散磁界の分界面の電子閉じ込め効果解析のため、アルゴン中電磁界下の電子運動をモンテカルロ法により模擬した。これまでに閉じ込め効果定量評価のための領域移行判定基準を検討し，前報ではこの基準を用いて電子の分界面通過位置によるエネルギー選択性の違いを電子エネルギー分布解析により検討した。本報では分界面直上・直下対称的な位置で電子エネルギー分布を比較した。下部領域では共鳴磁界域直下のため全エネルギーに渡り分界面内側を通過する電子の割合が多かったが、平均エネルギーは分界面外側を通過する電子の方が高いとの前報の結果がサンプル数の増えた本解析でも観察された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 325 Kバイト