多相電源による大気圧MCS放電の高集積化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-074

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): High Integration of Atmospheric Pressure MCS Discharge by Multiphase Power Supply

著者名: 森 裕哉(埼玉大学),若井 皓希(埼玉大学),稲田 優貴(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Yuya Mori(Saitama University),Hiroki Wakai(Saitama University),Yuki Inada(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: MHCD|MCS放電

要約(日本語): 本研究室では、マイクロホローカソード放電(MHCD)を電子の供給源として、第三の電極との間にグロープラズマを発生させるMCS(マイクロホローカソードサステインド)放電を用いたプラズマ源の開発を行っている。ガス処理能力を向上させるために、プラズマ源の大容量化が必要であるが、MHCD電極間距離を6mm以上とする必要があり、装置が大型化するといった問題がある。その問題を解決するために複数の電源による多相化MCS放電の検討を行った。各MHCDには時間をずらして繰り返しパルス電圧が印加される。異なる電源による放電の影響を考え、第三電極径を変化させて放電を行うと径が細い方が放電しやすいが、径が太い方が放電の発光が強かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 249 Kバイト