マイクロ波放電水素－ヘリウム混合プラズマの発光分光計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-080

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Plasma Spectroscopy Study of H₂-He Mixture Microwave Discharge

著者名: 大西 育佳(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),Reda Koramy(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Yasuka Onishi(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Reda Koramy(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロ波放電プラズマ|水素プラズマ|発光分光計測|Fulcher帯

要約(日本語): 水素プラズマは工業分野で広く応用されており、表面改質や材料プロセス、カーボンフィルムの調製などに加え、熱核融合炉工学でも重要である。核融合炉ダイバータ付近では、炉内のプラズマからダイバータが熱負荷を受ける問題や、粒子リサイクリングの問題があり、プラズマ中での励起状態分布をより詳細に調べる必要がある。本研究では、水素－ヘリウム混合マイクロ波放電プラズマにおいてFulcher－α帯を分光分析し、水素分子の回転温度、振動温度を求めることによってヘリウムガスを混合した際に生じる水素プラズマのエネルギーや特性の変化について考察した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト