大面積・高速表面酸化処理を目的としたループ型Ar/O2誘導熱プラズマの発光分光観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-084

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル：大面積・高速表面酸化処理を目的としたループ型Ar/O₂誘導熱プラズマの発光分光観測

タイトル(英語): Optical Emission Spectroscopy Measurement of Ar/O₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas on a Substrate for Large-area Rapid Surface Oxidation

著者名: 土谷 拓光(金沢大学),丸山 裕司(金沢大学),藤田 敦士(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)

著者名(英語): Takumi Tsuchiya(Kanazawa University),Yuji Maruyama(Kanazawa University),Atsushi Fujita(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)

キーワード: 誘導熱プラズマ|ループ型|一様性|分光観測|高速酸化|大面積処理

要約(日本語): 従来の円筒型誘導熱プラズマは高速表面処理に応用可能であるが，大面積化が困難という問題がある。筆者らはこれまでに，熱プラズマによる大面積プロセスを目指し，ループ型トーチを使用したループ型誘導熱プラズマ装置を開発している。この装置はループ型トーチを円型コイルにより挟み込み，トーチ面に垂直な交番磁界を印加して誘導熱プラズマを維持するものである。例えば，ループ型Ar/O₂誘導熱プラズマの一部をSi基板の表面上に生成させることで，横方向に長い範囲での酸化処理が可能となる。本報告では，このAr/O₂誘導熱プラズマを分光観測し，放射強度分布の横方向への一様性を評価した。その結果，別途の実験にてSi基板表面に生成された酸化膜の厚さの一様性と対応していることが示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 446 Kバイト