DLC成膜用炭化水素プラズマ基礎特性に及ぼす希釈Arガスの影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-108

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Effect of Ar Gas Dilution on Fundamental Properties in Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Films Deposition

著者名: 大木 一真(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Kazuma Ohki(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|シミュレーション|炭化水素|アルゴン

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，高硬度，耐摩耗性などの特性を有しているため，自動車部品の摺動部のコーティングなどの様々な分野において利用されている。DLC成膜手法の一種であるプラズマCVD法は，放電プラズマを利用して前駆体である炭化水素ガスを比較的低い温度で効率よく分解し，成膜源であるイオンやラジカルを基板上へ供給することができる。これまで，我々のグループではDLC成膜の最適化を目的として，CH₄プラズマの解析や四重極質量分析法によるAr/CH₄プラズマの診断を行ってきた。本報告では，上記Ar/CH₄プラズマの流体モデルを構築し解析を行ったのでその結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 279 Kバイト