質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-109

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Diagnostics of Hydrocarbon Plasmas for DLC Films Deposition using Mass Spectrometry and Langmuir Probe

著者名: 大野 祐也(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Yuya Ohno(Chiba Institute of Technology),Akihiro Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: DLC|プラズマCVD|質量分析

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（以下DLC）膜は硬さや耐摩耗性等の機械的特性に優れており、自動車部品等の表面加工等の様々な分野に応用されている。また、薄膜の形成が要求される複雑形状金型への成膜方法はスパッタ法等で発生するピンホール等の欠陥が発生しないプラズマCVD法が主流となっている。しかし、DLC成膜用炭化水素プラズマとDLC膜との関係に未解明な部分が多く残されているため、炭化水素プラズマ中の諸特性を理解する必要がある。本報告では、四重極質量分析装置及びプローブ装置により、容量結合型RF Ar/CH4プラズマの診断を行い、ガス流量が本プラズマ諸特性に及ぼす影響を調査したので，その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 347 Kバイト