変調/無変調制御した誘導熱プラズマ照射による多結晶ダイヤモンド膜堆積

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-110

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Diamond Deposition by Irradiation of Modulated and Non-Modulated Induction Thermal Plasma

著者名: 荒井 隆志(金沢大学),別院 利城(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Takashi Arai(Kanazawa University),Toshiki Betsuin(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishizima(Kanazawa University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|無変調誘導熱プラズマ|多結晶ダイヤモンド

要約(日本語): これまでに，変調誘導熱プラズマあるいは無変調誘導熱プラズマ単体を用いて，ダイヤモンド膜生成/成長実験をおこなってきた。その結果，コイル電流を変調させた変調誘導熱プラズマの照射が，ダイヤモンド粒子の核生成に有効であると推測された。一方，無変調誘導熱プラズマを照射することで，ダイヤモンド単結晶成長ができることを見いだしている。そこで，Si基板に対してまず鋸形変調の誘導熱プラズマ照射し，その後同一基板に対して無変調誘導熱プラズマを照射した。これにより，Si基板上にまずダイヤモンドの核生成を生じさせ，その後にそれを成長させることを想起した。その結果，鋸形変調の誘導熱プラズマによる核生成，無変調誘導熱プラズマによる核成長が効果的におこなわれたと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 614 Kバイト