非熱平衡大気圧プラズマジェットによるポリマー基材上のDLC膜の除去に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-119

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Removal of diamond-like carbon on polymeric materials by non-thermal-equilibrium atmospheric-pressure plasma jet

著者名: 小林 大地(日本大学),浅井 朋彦(日本大学),平塚 傑工(ナノテック),髙津 幹夫(平和電機)

著者名(英語): Daichi Kobayashi(Nihon University),Tomohiko Asai(Nihon University),Masanori Hiratsuka(Nanotec Corp.),Mikio Takatsu(Heiwa Electric Co.,Ltd)

キーワード: 非熱平衡大気圧プラズマジェット|DLC膜

要約(日本語): 従来のDLC膜の除去方法として酸素プラズマエッチングやショットブラストが挙げられるが，DLC膜の残存やコスト，基材へのダメージが問題となっている．上記の問題点を解決する手法として本研究室では，非熱平衡大気圧プラズマジェットによるDLC膜の除去方法の開発を行っており，これまでにSUS304基材上のDLC膜についてその除去効果が示されている．本手法は酸素ラジカルによってDLC膜の炭素が酸化除去されると考えられている．この除膜法の特性の検証や除膜メカニズムの理解を目的として，耐熱性の低い基材上のDLC膜へ照射実験を試みた．PETへの照射を行った結果，熱による結晶化が原因と思われる照射跡が残り，その照射領域において疎水化がみられた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 192 Kバイト