真空中におけるアルミナの表面抵抗と沿面絶縁破壊電圧との関係調査

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-152

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Investigation of relation between surface resistance and surface flashover voltage of alumina ceramics in vacuum

著者名: 浅利 直紀(東芝),竪山 智博(東芝),坂口 亙(東芝),塩入 哲(東芝),近藤 淳一(東芝)

著者名(英語): Naoki Asari(Toshiba),Chihiro Tateyama(Toshiba),Wataru Sakaguchi(Toshiba),Tetsu Shioiri(Toshiba),Junichi Kondo(Toshiba)

要約(日本語): 真空を絶縁媒体とした高電圧機器において、高電圧部を支持し、固定するためにセラミックが用いられており、真空中でのセラミック表面を介して発生する沿面絶縁破壊電圧の向上が必要となる。過去の研究から、沿面絶縁破壊は、セラミック表面状態に大きく影響されることが分かっている。本発表では、Cr2O3を成膜したセラミックの表面抵抗と沿面絶縁破壊電圧を測定し、表面抵抗と沿面絶縁破壊電圧との相関について調査した。その結果、Cr2O3を成膜することでセラミックの表面抵抗が低減し、沿面絶縁性能が向上することが分かった。これは、セラミックの表面抵抗と2次電子放出係数の低減により、セラミック表面の帯電が緩和されたためであると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 327 Kバイト