準大気圧定常アーク放電プラズマ装置の開発とその放電基礎特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-163

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Development of a steady-state, sub-atmospheric pressure arc discharge plasma device and its discharge characteristics

著者名: 奥村 卓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),山田 耕平(ユメックス),前中 志郎(ユメックス),青田 達也(ユメックス),藤田 和宣(ユメックス),高村 秀一(愛知工業大学)

著者名(英語): Takuya Okumura(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Kohei Yamada(YUMEX Inc.),Shiro Maenaka(YUMEX Inc.),Tatsuya Aota(YUMEX Inc.),Kazunobu Fujita(YUMEX Inc.),Shuichi Takamura(Aichi Institute of Technology)

キーワード: アーク放電|準大気圧|材料照射|アークランプ|熱プラズマ

要約(日本語): 精密微細加工（露光）技術等の産業界で利用されるショートアークランプでは，高気圧アーク放電の電流およびプラズマ流によって，陽極先端部の表面温度は3000 K以上にもなる。将来の高負荷化や長寿命化のために，高い熱放射特性を持つ繊維状ナノ構造を表面に施した革新的W電極の開発，W微粒子放出過程や放電特性の変化を明らかにする基礎研究，などが必要である。我々はこれらの背景の下，金属容器内にて準大気圧アーク放電プラズマを発生させる装置を開発した。初期結果として，Heガス圧力82 kPa，電極間距離1 mmの時，放電電流52 A，電圧39 V，電力2.0 kWにて，準大気圧定常Heアーク放電を安定に維持することに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 232 Kバイト