同軸プラズマガンによるホイスラー合金生成における鉄の堆積について

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-078

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Deposition of Fe in a Heusler Alloy Generation by Utilizing a Coaxial Plasma Gun

著者名: 橋口 舞(日本大学),新井 聡哉(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学),石川 有宰(日本大学),関口 純一(日本大学),浅井 朋彦(日本大学)

著者名(英語): Mai Hashiguchi(Nihon University),soya Arai(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University),Yusai Ishikawa(Nihon University),Junichi Sekiguchi(Nihon University),Tomohiko Asai(Nihon University)

キーワード: 同軸プラズマガン|ホイスラー合金|放電|熱電

要約(日本語): 本研究では，ホイスラー合金の生成の為に，同軸プラズマガンを用いた堆積法を開発し，Feのプラズマパーティクルの放出を行った．プラズマ発生には，最大2 kVの直流電圧を400μFのコンデンサに充電し，イグナイトロンによってこれを放電させた．放電電圧のピーク値1 kV，放電電流のピーク値8 kAが得られた．またプラズマパーティクルの発光スペクトル測定により，ターゲットであるFeの発光が確認された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 468 Kバイト