イオン化蒸着法によるDLCの成膜と光学的特性の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-080

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Optical properties of Diamond Like Carbon Films Deposited by the Ion Plating Method

著者名: 渡邉 学(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Gaku Watanabe(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: ダイヤモンド状炭素|イオン化蒸着法|フォトルミネッセンス

要約(日本語): 現在，シリコン（Si）は半導体産業の中心となっており，様々な電子デバイスに使用されている．これまでに我々はSi半導体の代替材料としてDLC（Diamond Like Carbon）に着目し，イオン化蒸着法によってDLCのデバイス化について研究している(1)．DLCはダイヤモンド構造のsp3結合とグラファイト構造のsp2結合が混在したアモルファス構造である．このsp3結合，sp2結合の比率を変化させることによりDLCのEgが0.8 ? 3.3 eVの間で可変することが報告されている(2)．本稿ではイオン化蒸着法によるDLC成膜時の基板電圧とDLCのEgの依存性について実験的に検証した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 352 Kバイト