結晶アニーリングには何故長い時間を要するのか

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-081

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Why does the annealing on a damaged crystal elapse a long time?

著者名: 中川 幸子(岡山理科大学)

著者名(英語): Sachiko Nakagawa(Okayama Univ. of Science)

キーワード: アニーリング|計算機シミュレーション|複雑系|構造相転移

要約(日本語): 半導体へのイオン注入の後、アニーリングは必須であり、最短でも1ミリ秒を要する。アニーリングは格子振動を活発に起こさせて、格子間位置にあったドーパントを母体結晶の原子の格子位置に置きかえる作業である。しかし、格子振動の1周期からすると、10億回もの揺り動かしが必要という理由は明快ではない。我々は、アニーリング過程を、「強い相互作用のもとにある多原子系、という閉じた系」と捉え、N2ビームで照射したダイヤモンド中の原子集団の振る舞いを分子動力学によって追尾した。その結果、長時間を要する理由は、複雑系特有の、カオス遷移に長い時間が必要である為、と、説明できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 219 Kバイト