バイアス通電によるミアンダコプレーナ薄膜磁界センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-111

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Meandering coplanar line type thin film magnetic field sensor with direct bias

著者名: 薮上 信(東北学院大学),植竹 宏明(東北学院大学),森谷 健太(東北学院大学),冨並 剛(東北学院大学),小野寺 秀彦(東北学院大学)

著者名(英語): Shin Yabukami(Tohoku Gakuin University),Hiroaki Uetake(Tohoku Gakuin University),Kenta Moriya(Tohoku Gakuin University),Tsuyoshi Tominami(Tohoku Gakuin University),Hidehiko Onodera(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 磁界センサ

要約(日本語): 本稿では，伝送線路および磁性薄膜を薄膜プロセスにより一体化したミアンダコプレーナ構造の集積化薄膜磁界センサを作製し，バイアス電流を磁性薄膜直下にセンサ素子に一体化させた電極へ通電させた。その結果，外部からバイアス磁界を印加する場合とほぼ同等のセンサ感度を得られることを見いだした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト