交流変調を用いたTMRセンサの駆動法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-113

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Magnetic field characteristic of TMR magnetic sensor with AC modulation

著者名: 中村 喜浩(岡山大学),八杉 拓也(岡山大学),馬島 八世(岡山大学),堺 健司(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Yoshihiro Nakamura(Okayama University),Takuya Yasugi(Okayama University),Yatsuse Majima(Okayama University),Kenji Sakai(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 磁気センサ|ゼロ点|線形応答特性|絶対磁場

要約(日本語): 磁気計測の際，コイルをはじめとする各種磁気センサが使われているが，近年MRセンサなどの薄膜デバイスの高感度化の研究が盛んになっている．本研究では，地磁気観測などの絶対磁場測定ができる高感度磁気センサの開発を目指した．ここで，ナノグラニュラーTMR型センサは高感度であり，ヒステリシスが小さく，非線形な偶関数特性を持っていることに本研究では着目した．通常，MRセンサの動作方法として，直流バイアスを印加することで動作点を線形領域に移動させる手法を採っていた．しかし，この手法では相対磁場による計測であった．そこで本研究では，交流磁場を変調磁場として印加し，検波することにより外部磁場を計測する手法を開発した．これにより，磁場応答特性が温度変化によらずゼロ点を通過する線形応答特性が得られ，絶対磁場の計測が可能となった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 477 Kバイト