ナノスケール観測装置における制御用電子回路の作製及び実機評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-019

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): A study on development of control circuit in nanoscale observation and its experimental evaluaion

著者名: 中島 瑞貴(千葉工業大学),潤間 威史(千葉工業大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Mizuki Nakajima(Chiba Institute of Technology),Takeshi Uruma(Chiba Institute of Technology),Satoh Nobuo(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 走査型プローブ顕微鏡|ナノスケール観測|オペアンプ|フィードバック制御|原子間力顕微鏡|半導体デバイス

要約(日本語): 次世代半導体デバイスの研究開発において，内部構造や材料物性の評価は，その取り組みの根幹を成す．具体的には，パワー半導体デバイスや有機半導体デバイスの実現に際し，ナノスケールでの精確な観測・評価が求められる．このようなナノ領域での観測・評価を行うツールの1 つに走査型プローブ顕微鏡(SPM)が挙げられる．また，SPM技術としては，原子間力顕微鏡法(AFM)や表面電位計測法(KFM)があるが，特にKFM の計測結果の再現性については，制御回路の安定度に強く依存すると考えられる．表面電位の高感度検出ならびに良好な再現性を達成するために，ナノスケール観測装置のための電圧フィードバック制御回路の開発が肝要である．本研究では，表面電位計測のために回路設計指針の確立に向けて，広帯域化のためにオペアンプの周波数応答特性の基礎検討を行ったうえで，制御回路の実機作製に基づいた評価を行う．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 587 Kバイト