圧電素子によるマイクロフォンの特性シミュレーションモデル

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Characteristic simulation model of microphone by piezoelectric element

著者名: 佐藤 裕樹(新日本無線),瀬志本 明(新日本無線),山崎 王義(新日本無線),藤原 宗(新日本無線),益 一哉(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学)

著者名(英語): Hiroki Satoh(New Japan Radio Co., LTD.),Akira Seshimoto(New Japan Radio Co., LTD.),Kimiyoshi Yamasaki(New Japan Radio Co., LTD.),Hajime Fujiwara(New Japan Radio Co., LTD.),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 圧電素子|窒化アルミニウム|マイクロフォン

要約(日本語): モバイルデバイスには多数のMEMSマイクロフォンが搭載されている。MEMSマイクロフォンは音響-電気変換を担うトランスデューサーと、電気信号を増幅するアンプ部で構成される。従来のトランスデューサーは静電容量型が一般的であるが、近年では防塵、防水性を備えた圧電型が発表された。圧電型トランスデューサーの動作原理は、圧電膜に音響信号による応力が掛かり、圧電膜内で分極が発生し、電荷が生成されることである。この物理現象を等価回路で表現できれば、性能の根拠、雑音性能を直感的に理解し易くなり、高性能、低雑音な圧電型トランスデューサーを設計できるようになる。そこで、物理現象に則した圧電型トランスデューサーの等価モデルを提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 149 Kバイト