P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波アレイセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): MEMS Ultrasonic Array Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学),佐藤 和郎(大阪府立産業技術総合研究所)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Shuichi Murakami(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Mayumi Uno(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Kazuo Satoh(Technology Research Institute of Osaka Prefecture)

キーワード: 超音波センサ|センサ|圧電|P(VDF/TrFE)

要約(日本語): 自動走行車の普及が進み小型かつ高性能な障害物センサの開発が求められている。超音波センサは近距離の障害物検知センサに適しており，超音波センサを2次元アレイ化しフェイズド・アレイ方式の電子走査を行えば物体の3次元計測が可能である。超音波センサをMEMS化すれば小型化が可能であるが，受信面積減少のために受信感度の低下が懸念される。受信感度向上を目指してP(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波アレイセンサ（以下MEMS超音波センサと略す）の試作実験を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 529 Kバイト