シールド電極を用いた半導体型土壌インピーダンスセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-129

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Fabrication of a Semiconductor Type Soil Impedance Sensor with a Shielding Electrode

著者名: 小笠原 慎(静岡大学),伊藤 巽(静岡大学),小松 満(岡山大学),草野 健一郎(ラピスセミコンダクタ宮城),渡辺 実(ラピスセミコンダクタ),秋田 一平(豊橋技術科学大学),平野 陽豊(静岡大学),二川 雅登(静岡大学)

著者名(英語): Shin Ogasahara(Shizuoka University),Tatsumi Ito(Shizuoka University),Mitsuru Komatsu(Okayama University),Kenichiro Kusano(LAPIS Semiconductor Miyagi Co., LTD.),Minoru Watanabe(LAPIS Semiconductor Co., LTD.),Ippei Akita(Toyohashi University of Technology),Harutoyo Hirano(Shizuoka University),Masato Futagawa(Shizuoka University)

キーワード: 半導体型センサ|斜面崩壊予知|土壌水分量|シールド電極|リーク電流|リアルタイム計測

要約(日本語): 我々は斜面崩壊の事前検知を目標に半導体型土壌水分量センサの研究を行っているが、これまでに開発したセンサでは低い水分量土壌での計測を行うことが出来なかった。本研究では、半導体内にシールド電極を設けたセンサの設計を行い、半導体基板内を流れる電流（リーク電流）を除外することで低水分量土壌土壌での計測を実現した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 430 Kバイト