SiGeによるコンボセンサ実現に向けた磁気センサの設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Fabrication of magnetic sensor for SiGe combo sensor

著者名: 氏家 朱理(兵庫県立大学),廣田 朝地(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akari Ujiie(University of Hyogo),Choji Hirota(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: SiGe|磁気センサ|モノリシック

要約(日本語): 近年，さらなるセンサシステムの集積化が要求されており，コンボセンサはシステムの集積化に有利である。集積化コンボセンサの製造をモノリシック融合にて行うことで，ノイズを誘起し故障率を増大させるワイヤボンディングを削減できるなどの利点がある。SiGeはGe濃度を変えることにより応力を制御でき，CMOSに影響を与えにくい温度で堆積可能であることから，モノリシック融合に適した材料である。本研究では，SiGeを用いたコンボセンサの作製に向け，その1要素として磁気センサを作製するため，設計を行った。設計した磁気センサについて有限要素解析により計算した結果，検出可能な静電容量が得られることが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 463 Kバイト