圧電MEMS超音波センサ用ゾル・ゲルPZT薄膜の作製条件とセンサ感度

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-137

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Sensitivity of piezoelectric MEMS ultrasonic sensors with sol-gel PZT films under various preparation conditions

著者名: 中島 将太(京都工芸繊維大学),塩見 丈(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Shota Nakajima(Kyoto Institute of Technology),Jo Shiomi(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: PZT|ゾル・ゲル|応力|超音波センサ|感度

要約(日本語): 我々は空中超音波での3次元計測を目指して圧電ダイアフラム型センサを開発している。これまでにダイアフラムの撓みがセンサ感度に影響を与えることを見出し，またゾル・ゲルPZTの製膜条件によってダイアフラムの撓みが変化することを報告してきた。今回は，製膜条件によるPZT薄膜の特性及びダイアフラムの撓み量と感度の関連を評価した。その結果，仮焼成温度により結晶性と応力および強誘電性が変化したが，センサ感度はほぼ応力に起因するダイアフラム撓み量のみとの相関が大きいことが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 560 Kバイト