視覚・触覚複合MEMSセンサのエラストマ形状による力感度制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-138

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Sensitivity Control of Force of MEMS Visual and Tactile Combo Sensor by Optimization of Elastomer Shape

著者名: 佐藤 周平(新潟大学),安部 隆(新潟大学),野間 春生(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Shuhei Sato(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Haruo Noma(Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|マイクロカンチレバー|エラストマ|多軸力計測

要約(日本語): 本研究では、視覚・触覚複合MEMSセンサにおけるエラストマ形状の再デザインおよび比較を行い、力に対する感度を大幅に向上した。近年、人間のような器用な動作を行うロボットや人間の感性の定量的評価が注目されているが、それらにおいては人間に近い視覚・触覚の検知が必須である。我々が開発しているセンサは、半導体の光電効果とエラストマに埋め込まれたMEMS構造によるひずみ検知により単一のセンサで複合して計測が可能であり、それらの用途で有用である。本報告では、このセンサのエラストマの形状を変更することにより、従来の7倍以上の垂直荷重に対する出力を得ることができ、MEMSの設計を変更することのない感度制御の可能性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 369 Kバイト