Pt超薄膜を用いたブリッジ型水素センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-146

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Development of a bridge circuit type hydrogen sensor using Pt-ultra-thin film

著者名: 天野 薫(岡山大学),古川 遼(岡山大学),井並 祥太(岡山大学),堺 健司(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Kaoru Amano(Okayama University),Ryou Furukawa(Okayama University),Syouta Inami(Okayama University),Kenji Sakai(Okayama University),toshihiko Kiwa(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 水素|ガスセンサ

要約(日本語): Ptの超薄膜が水素に対して抵抗値変化をする特性を見出し，その特性を利用した水素センサの開発を行っている．以前報告したセンサは抵抗変化をとらえているため，環境温度変化が測定に影響する問題があった．そこで今回はこれらの課題に対しブリッジ回路を用いたセンサを開発し特性を評価した．ブリッジ回路構成として水素に感度が高い抵抗体と感度の低い抵抗体で構成した．感度の低い抵抗体としてPt表面をAl2O3でカバーした構造を取った．絶縁体のAl2O3の被覆の有無の違いにより水素応答感度が異なるPt薄膜によるブリッジ回路を実現することができた．このセンサにより良好な水素応答特性と温度特性を確認することができたので報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 273 Kバイト