SAWマルチセンサの開発 -反射器のセンサ化に関する検討-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-149

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Study on Sensitive Reflecter for Surface Acoustic Wave Multi-Sensor

著者名: 榊原 直樹(芝浦工業大学),齋藤 敦史(芝浦工業大学),原田 晃季(芝浦工業大学),荒木 昂平(芝浦工業大学),横塚 大地(芝浦工業大学)

著者名(英語): Naoki Sakakibara(Shibaura Institute of Technology),Atsushi Saitoh(Shibaura Institute of Technology),kouki Hrada(Shibaura Institute of Technology),kouhei Araki(Shibaura Institute of Technology),Daichi Yokotsuka(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 弾性表面波|無給電ワイヤレスセンサ

要約(日本語): 圧電結晶表面を伝搬する弾性表面波(SAW)は，周囲の物理的・化学的条件に依存して，SAWの伝搬特性が変化する．この特徴を利用した各種の物理・化学センサが開発されている． SAWセンサの実現方法は様々な方式が検討されており，その1つとして反射器をセンサ化する方式を検討している．この方式は，反射器にセンサ用薄膜を装荷することで，反射器そのものをセンサとして用いることが可能である．そのため，複数の反射器を配置することで，マルチセンサ化が容易に実現可能である．本研究では，温湿度センサを実装し，反射型SAWセンサに適する基板材料・反射器構造，およびIDT型反射器において外部負荷接続による反射特性の調整について検討した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 560 Kバイト