匂いセンサ用感応膜塗布の安定的手法の確立

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Development of method of film coating for odor sensor

著者名: 木村 聡太(東京工業大学),中本 高道(東京工業大学)

著者名(英語): Sota Kimura(Tokyo institute of Technology),Takamichi Nakamoto(Tokyo institute of Technology)

キーワード: 匂いセンサ|感応膜|電磁弁|キャスト法|感応膜塗布法|水晶振動子

要約(日本語): これまでの匂いセンサはQCM(Quartz crystal microbalance)の膜の塗布方式は安定性から霧化方式を使用して膜の塗布を行っていた。しかし、霧化法で感応膜を塗布する場合、素子全面に膜塗布できるが基板を部分的に選択して膜塗布することはできない。小型の匂いセンサを実現するためにはone chip上に複数センサを製作することが有効であり、そのためには部分的に選択できる膜塗布法が有効である。そのような膜塗布法としてはインクジェット方があるが気泡の影響を受けやすく簡便で安定に動作させることが困難であった。そこで、電磁弁を導入することにより安定的に、微細な制御が可能な膜塗布方法を確立した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 369 Kバイト