旋盤型電解放電加工機のためのサーボ式力センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-222

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Servo-type Force Sensor for Lathe-type Electrochemical Discharge Machine

著者名: 原田 慶(豊田工業大学),古谷 克司(豊田工業大学)

著者名(英語): Kei Harada(Toyota Technological Institute),Katsushi Furutani(Toyota Technological Institute)

キーワード: 力制御|電解|放電|多項式近似|ソレノイド|送り

要約(日本語): 無機絶縁体への微細加工を目的とした旋盤型電解放電加工法での加工速度向上には，工具電極と被加工物が常に接触した状態で，押付力を0.1N以下の微小力にする必要がある．磁気吸引機構を持つ高剛性なサーボ式力センサで定圧制御する時には，硬い対象に接触させると力センサを変位させるステージの動きが振動的になる．そこで，押付力を安定化するため，電圧と変位と押付力の関係を多項式近似し定圧制御を行った．対象物が300μmp-pで変位した時の押付力を力センサで測定すると，0.01?0.1Nで制御できていた．ガラス棒に60min間で深さ370μmの溝を加工できた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 427 Kバイト