自動調整機能を備えたアクティブ除振システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-230

グループ名: 【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集

発行日: 2017/03/05

タイトル(英語): Development of Active Anti-Vibration System with Auto Tuning Function

著者名: 加藤 孝宜(日立製作所),高橋 宗大(日立製作所),渡辺 成夫(日立製作所)

著者名(英語): Takanori Kato(Hitachi, Ltd., Research & Develpment Group),Motohiro Takahashi(Hitachi, Ltd., Research & Develpment Group),Naruo Watanabe(Hitachi, Ltd., Research & Develpment Group)

キーワード: アクティブ除振|自動調整

要約(日本語): 半導体や液晶ディスプレイの製造装置では、加工精度向上の観点から装置振動低減の要求が高まっており、アクティブ除振システムの導入が検討されている。従来のアクティブ除振システムは、装置設置環境により床振動周波数が変化した場合、十分な除振性能を得るためにはシステムの調整が必要であった。そこで、本研究では、様々な設置環境で最適な除振性能を実現するため、自動調整可能なアクティブ除振システムを開発し、実験検証を行った。その結果、一般的な床振動の周波数帯域(1?10 Hz)内で振動周波数が変化した場合でも、除振率-10 dBを達成した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 394 Kバイト