コロナ帯電と除電を併用した非接触型表面抵抗率測定法の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-045

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Non-contact Surface Resistivity Measurement using Corona Charging and Charge Elimination

著者名: 沼山 和樹(山形大学),杉本 俊之(山形大学),田口 浩一(ナプソン)

著者名(英語): Kazuki Numayama(Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto(Yamagata University),Koichi Taguchi(NAPSON CORPORATION)

キーワード: 表面抵抗率,コロナ帯電,除電,非接触,表面電位

要約(日本語): 表面抵抗率は一般に電極を接触させることにより測定されるが，表面に凹凸のあるものや接触により表面が損傷してしまうサンプルの測定は困難である。このため，非接触で表面抵抗率を測定する方法が検討されている。本研究ではコロナ帯電法に除電機構を追加することにより，10⁶?10¹⁰Ω/sqの低抵抗側に測定レンジをシフトすることを目的とした。表面抵抗率を10⁶?10¹⁰Ω/sqの範囲で変化させたところ，今回のセッティングでは，測定された表面電位にはおよそ1500Vの差が生じた。この結果は，理論式を用いたシミュレーション結果とほぼ一致した。このことから，コロナ帯電法と組み合わせることにより，10⁶?10¹⁵Ω/sqの範囲で測定できる可能性が示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 533 Kバイト