Si含有DLC成膜用TMSプラズマの診断-プラズマ基礎特性のガス圧力依存性-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-069

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Diagnostics of Tetrametylsilane plasma for Si Containing Diamond-Like Carbon Films Deposition using Mass Spectrometry -Gas pressure Dependence of Fundamental Plasma Properties-

著者名: 永井 雅之(千葉工業大学),大野 祐也(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学),上坂 裕之(岐阜大学),太田 貴之(名城大学)

著者名(英語): Masayuki Nagai(Chiba Institute of Technology),Yuya Ono(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology),Hiroyuki Kousaka(Gifu University),Takayuki Ohta(Meijo University)

キーワード: 低圧プラズマ,ダイヤモンドライクカーボン,診断・計測

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC: Diamond-Like Carbon）は、硬さ、耐食性、耐摩耗性などの機械的特性に優れており、特にSi含有DLC(DLC-Si)膜は、各種DLC膜の中でも低い摩擦係数を示すことから、自動車業界を中心に注目され、このDLC-Si成膜用の原料ガスとして主にテトラメチルシラン（TMS: Tetrametylsilane, Si(CH3)4）が利用されている。成膜の際、原料ガス由来の正イオンやラジカルの生成過程は成膜に寄与するため重要となる。しかし、TMSプラズマ中の解離過程に未解明な部分が多く残されているため、TMSプラズマの諸特性を明らかにすることが重要である。本報告では、Ar/TMS(1%)混合ガスを原料として容量性結合型RFプラズマを生成し、その基礎特性について質量分析装置により診断を行ったので、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 263 Kバイト