質量分析器によるDLC成膜用メタンプラズマの診断

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-070

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Diagnostics of Hydrocarbon Plasma for Diamond-Like Carbon Deposition by Mass Spectrometer

著者名: 小川 慎(千葉工業大学),大野 祐也(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学),太田 貴之(名城大学),上坂 裕之(岐阜大学)

著者名(英語): Shin Ogawa(Chiba Institute of Technology),Yuya Ohno(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology),Takayuki Ohta(Meijo University),Hiroyuki Kousaka(Gifu University)

キーワード: 低圧プラズマ

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC：Diamond-Like Carbon)は炭素または炭化水素からなる硬質膜で、非結晶構造でグラファイトとダイヤモンドの中間の存在であると言われている。DLC膜は耐摩耗性や硬度，耐蝕性などの機械的特性に優れており、自動車部品や切削工具などの様々な分野に応用されている。DLC成膜方法の1つとしてプラズマCVD法が用いられ、原料ガスをプラズマ化させ基板表面に粒子を堆積させることで成膜する方法が主流となっている。プラズマCVD法はプラズマの生成条件を変えることによってDLC膜のダイヤモンドとグラファイトの構造比を調整できるため炭化水素系プラズマの諸特性の解明が求められている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 285 Kバイト