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時間分解発光分光法によるHe/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの診断

時間分解発光分光法によるHe/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの診断

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-076

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル:時間分解発光分光法によるHe/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの診断

タイトル(英語): Diagnostics of a Narrow-Gap, Non-Equilibrium plasma at Atmospheric Pressure through He/O2 Mixtures by Temporally Resolved Optical Emission Spectroscopy

著者名: 中野 俊樹(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

著者名(英語): Toshiki Nakano(National Defense Academy),Takeshi Kitajima(National Defense Academy)

キーワード: 狭ギャップ,短パルス電圧,大気圧プラズマ,非平衡プラズマ,発光分光法

要約(日本語): 高分子の表面酸化プロセスなどに有効であるHe/O2挟ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマを時間分解発光分光法および電極間電圧・電流波形によって診断し、プラズマの生成に及ぼすO2の影響に着目して検討した。その結果、O2の添加によってプラズマ中で負イオンが生成されて電子密度が減少し、特に、アフターグロー中の再結合による発光が抑制されることが示唆された。He/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマでは、プラズマ生成・維持や表面酸化のメカニズムを検討する際に、O2から生ずる負イオンの影響を考慮する必要があることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 470 Kバイト

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