磁化プラズマ容器器壁における電子反射が電子エネルギー利得機構に及ぼす効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-083

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Effect of Electron Reflection at Surface of Magnetized Plasma Reactors on Electron Energy Gain Mechanism

著者名: 高橋 宏徳(北海道大学),中島 克博(北海道大学),山本 達平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Hironori Takahashi(Hokkaido University),Katsuhiro Nakashima(Hokkaido University),Tappei Yamamoto(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 磁化プラズマ,モンテカルロシミュレーション,電子反射,エネルギー利得

要約(日本語): 誘導結合型磁化プラズマの一種であるX点プラズマは容器内に対向発散磁界を形成し、電子閉じ込め効果により低圧下でも分界面上部領域に高密度を維持する。負イオンエッチ基源として低ダメージの異方性エッチングへの応用などが考えられる。励起源RFアンテナ付近の強電界下と共鳴磁界域に加え、側壁上部近傍でもプラズマ維持に寄与する電子エネルギー利得が高くなることがモンテカルロ法により観察された。本研究では既報で詳解されたエネルギー利得機構への電子器壁反射の統計的影響を調べるため、電子エネルギー利得、エネルギー損失、平均エネルギーの空間分布を解析した。結果、器壁近傍で利得が高く、器壁反射の利得機構への影響が見られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 381 Kバイト