大気圧高周波Heプラズマにおける放電モードの遷移メカニズムに関する数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-085

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Numerical Analysis on Discharge Mode Transition Mechanism of Atmospheric-Pressure and Radio-Frequency He Plasmas

著者名: 小嶋 正宏(千葉工業大学),大木 一真(千葉工業大学),小森 郷平(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Masahiro Kojima(Chiba Institute of Technology),Kazuma Ohki(Chiba Institute of Technology),Kyohei Komori(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ,ヘリウム,シミュレーション

要約(日本語): 非平衡大気圧プラズマは、薄膜形成や微細加工技術などの材料プロセス分野や、バイオ・医療分野など幅広い産業分野へ応用されている。その際、特に高周波大気圧プラズマにおける放電モードに着目すると、放電空間内での電離作用で放電維持されるαモードと、電極へのイオン衝撃により放出された2次電子の作用で放電維持されるγモードが確認されている。しかしながら、これらαモードからγモードへの遷移メカニズムの解明は十分に進んでおらず、いまだ未解明な点が多いのが現状である。そこで本研究では、シミュレーションにより本プラズマの放電モードの遷移メカニズムについて解析することを目的とした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 424 Kバイト