空洞共振器付きプラズマ源におけるプラズマ生成，維持に寄与する電磁波の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-099

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Study of Electromagnetic Wave to Sustain Plasma on Microwave Plasma Source with Resonant Cavity

著者名: 高井 野亜(東京理科大学),片山 昇(東京理科大学)

著者名(英語): Noa Takai(Tokyo University of Science),Katayama Noboru(Tokyo University of Science)

要約(日本語): 空洞共振器付きプラズマは、誘電体とプラズマの境界においてTM波と呼ばれる電磁波により発生する表面波により高密度な状態を維持すると従来では考えられていた。しかし、TM波共振器状態でもTM波による表面波でも説明できない現象が観察されている。そこで本研究ではプラズマを発生および維持している機構はTM波による表面波ではなく、空隙長の変化に伴い様々な形態の電磁波が奇与するのではないかという仮定の元、チャンバ下部からのプラズマの状態を観察し実際に電磁波がどのような形態になっているか調べた。さらに、空隙長を変化させることで密度ピークを測定した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 271 Kバイト