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準大気圧下における高繰り返しナノ秒パルスグロー放電の放電形態

準大気圧下における高繰り返しナノ秒パルスグロー放電の放電形態

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-104

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Discharge modes of a high-repetition nanosecond pulsed glow discharge under sub-atmospheric pressure

著者名: 前川 拓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Takuya Maegawa|Yusuke Kikuchi|Akira Otsubo|Yoshimi Nishimura|Masayoshi Nagata|Mitsuyasu Yatsuzuka

キーワード: 準大気圧,高繰り返しナノ秒パルスグロー放電,アフターグロー,時間分解分光

要約(日本語): 本研究では,SiC-MOSFETインバータ電源および検出器に光電子増倍管を有する可視分光器を用いて,準大気圧高繰り返しヘリウムパルスグロー放電プラズマの時間分解分光計測を実施し,陰極近傍での発光スペクトル{全発光,He原子発光(He I, 2p-3d, 587 nm),窒素(N2)分子イオン発光(N2+, 391 nm)}の時間発展を取得した.その結果,全発光は電圧印加終了後も発光が持続しており,放電発光が準定常的に存在していることがわかった.また, N2+は電圧がゼロになった後も発光が持続していることが分かった.ここで,N2+は準安定状態のHe原子(He*)によるペニング電離により発生していると考えられ,アフターグローでは,He*が存在していることを示唆された.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 583 Kバイト

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