高温下における誘電体バリア放電の挙動観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-110

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Observation of Dielectric Barrier Discharge at high temperature

著者名: 神田 直人(大分大学),市來 龍大(大分大学),喜多村 圭一(大分大学),赤峰 修一(大分大学),金澤 誠司(大分大学)

著者名(英語): Naoto Kanda(Oita University),Ryuta Ichiki(Oita University),Keiichi Kitamura(Oita University),Syuichi Akamine(Oita University),Seiji Kanazawa(Oita University)

キーワード: 誘電体バリア放電,高温,窒素,グロー化

要約(日本語): 我々は、これまでの先行研究でDBDでの金属窒化処理に成功した。DBDの利点である対向電極の形状を変化できることを利用して窒化領域を制御しようとしたが、想定外の大面積処理がなされていた。この原因を調査するため我々は今回、高温下における平板型窒素DBDの観測を行った。その結果、600℃までの温度上昇によって、対向電極の領域を大幅に超えて徐々に放電の生成面積が拡張した。それに加え、400℃?500℃付近でフィラメント放電からグロー状の放電へと形態変化を起こした。これらのプラズマの変遷が想定外の大面積処理を起こしたのではないかと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 379 Kバイト