2つのコイルを持つタンデム型Ar誘導熱プラズマを用いたSiナノ粒子生成の基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-119

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): A Fundamental Study on Synthesis of Si Nanoparticles using a Tandem Type of Ar Induction Thermal Plasma with Two Coils

著者名: 隠田 一輝(金沢大学),児玉 直人(金沢大学),石坂 洋介(金沢大学),清水 光太郎(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),末安 志織(日清製粉グループ本社),渡邉 周(日清製粉グループ本社),中村 圭太郎(日清製粉グループ本社)

著者名(英語): Kazuki Onda(Kanazawa University),Naoto Kodama(Kanazawa University),Yosuke Ishisaka(Kanazawa University),Kotaro Shimizu(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihoko Usegi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Shiori Sueyasu(Nisshin Seihun Group Inc.),Shu Watanabe(Nisshin Seihun Group Inc.),Keitaro Nakamura(Nisshin Seihun Group Inc.)

キーワード: 熱プラズマ,材料処理,ナノ粒子,シリコン,誘導熱プラズマ,タンデム型

要約(日本語): 筆者らは，1つのプラズマトーチに2つのコイルを用い，熱プラズマを軸方向に空間制御できるタンデム型誘導熱プラズマを開発してきた．今回，タンデム型誘導熱プラズマを用いた初めてのナノ粒子生成を行い，基礎検討を行った．その結果，原料を上段コイルから投入することで，熱プラズマが比較的不安定になりやすいことが示唆された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 616 Kバイト