低周波および直流放電プラズマを用いたDLC膜の成膜と除膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-123

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Deposition and Removal of DLC Film using Low Frequency and Direct Current Discharge Plasma

著者名: 谷本 壮(豊橋技術科学大学),藤田 至(豊橋技術科学大学),近藤 勇樹(豊橋技術科学大学),針谷 達(豊橋技術科学大学),須田 善行(豊橋技術科学大学),滝川 浩史(豊橋技術科学大学),権田 英修(オーエスジー),羽田野 泰弘(小島プレス工業),神谷 雅男(伊藤光学工業)

著者名(英語): Tsuyoshi Tanimoto (Toyohashi University of Technology), Itaru Fujita (Toyohashi University of Technology), Yuki Kondo (Toyohashi University of Technology), Toru Harigai (Toyohashi University of Technology), Yoshiyuki Suda (Toyohashi University of Technology), Hirofumi Takikawa (Toyohashi University of Technology), Hidenobu Gonda (OSG Corporation), Yasuhiro Hadano (Kojima Industries Corporation), Masao Kamiya(Itoh Optical Industrial Co., LTD.)

キーワード: DLC膜,高速成膜,高速除膜,低周波放電プラズマ,直流放電プラズマ

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は、高硬度、低摩擦などの優れた特徴を有する機能性膜であり、工具などの保護膜として応用されている。DLC膜を大量の工具などへ成膜する際、既存の成膜速度では多くの時間が必要になり成膜速度の高速化が求められている。また、工具等からDLC薄膜を取り除き、母材を再利用するためのDLC膜の高速除膜技術も高速成膜と同様に求められている。 本研究では、低周波電源及び直流電源を組み合わせて生成される放電プラズマを用いDLC薄膜の成膜及び除膜を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 270 Kバイト