縦磁界が及ぼす真空アーク陰極点の分裂時の挙動

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-160

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Movement of Vacuum Arc Cathode Spot with Split Affected by Vertical Magnetic Field

著者名: 高橋 有沙(東京都市大学),堀場 祐哉(東京都市大学),山本 真司(東京都市大学),岩尾 徹(東京都市大学)

著者名(英語): Arisa Takahashi(Tokyo City University),Yuya Horiba(Tokyo City University),Shinji Yamamoto(Tokyo City University),Toru Iwao(Tokyo City University)

キーワード: 真空アーク,陰極点,縦磁界,分裂,移動軌跡

要約(日本語): 真空アーク陰極点は，陰極上を不規則に動き回る特徴を持ち，制御することが難しい。この解決のため，筆者らは，横磁界や縦磁界を用いて陰極点を制御することを提案している。本制御により，酸化膜の除去速度の高速化と除去面積の拡大が可能となり，表面処理の高効率化を図ることができる。しかし，この制御をするためには，陰極点近傍の物理現象の把握が必要である。本論文では，確実な移動制御の実現に向けた知見を得るために，縦磁界が及ぼす陰極点の分裂時の挙動の検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 289 Kバイト