両極性パルス加速器におけるパルス重イオンビームのエネルギー評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-187

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Energy evaluation of Pulsed heavy ion beam in Bipolar pulse accelerator

著者名: 寺田 匡志(富山大学),朴木 太郎(富山大学),山本 晃平(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学)

著者名(英語): Masashi Terada(University of Toyama),Taro Honoki(University of Toyama),Kohei Yamamoto(University of Toyama),Hiroaki Ito(University of Toyama)

キーワード: パルス重イオンビーム,両極性パルス加速器,パルスイオン注入

要約(日本語): 半導体デバイス産業では高効率・小型・低損失のパワーデバイスや高周波デバイスとして炭化ケイ素（SiC）がシリコンに代わる半導体材料の1つとして期待されている。本研究ではSiCの新しいイオン注入技術であるパルスイオン注入法を提案してきた。この技術に向けて高純度のパルス重イオンビームが必要であり両極性パルス加速器の開発をしてきた。本発表は装置を改良して、飛行時間差法と固体飛跡検出器CR-39を利用した2通りでパルス重イオンビームのエネルギー評価を行った。CR-39を用いたエネルギー評価は飛行時間差法より正確なエネルギー評価ができたと考えられる。このエネルギー評価を用いた2段加速実験については、本発表にて述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 264 Kバイト