スピンコート法により電極背後に成膜された圧電素子の誘電特性とそれを用いた空間電荷測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-020

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Dielectric Properties of Spin-coated Piezoelectric Thin Film on the Back of Plane Electrode and Space Charge Distributions Measured by the Film

著者名: 真田 聡太(愛媛大学),弓達 新治(愛媛大学),尾崎 良太郎(愛媛大学),門脇 一則(愛媛大学)

著者名(英語): Sota Sanada(Ehime University),Shinji Yudate(Ehime University),Ryotaro Ozaki(Ehime University),Kazunori Kadowaki(Ehime University)

キーワード: 空間電荷,圧電素子

要約(日本語): 我々は低密度ポリエチレンを用いた空間電荷測定において、ある電界より高い電界を加えたときに、電流密度の増加率が減少したことを発見した。しかし、分解能の問題で電荷密度が低くなっていると考えられる。そこで空間電荷測定装置の分解能向上に向けた、圧電素子であるPVDFの薄膜作製に取り組んだ。薄膜はスピンコートによって装置の接地電極に薄く成膜をおこなった。次にその薄膜の誘電特性の観測をソーヤータワー回路を用いたヒステリシス曲線を用いておこない、薄膜が残留分極を観測し、薄膜の圧電性を確認した。その薄膜で空間電荷測定をおこない、装置の分解能を向上させることに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 284 Kバイト