同軸プラズマガンによるアルミニウム薄膜の堆積

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-088

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Deposition of Al Thin Films Utilizing a Coaxial Plasma Gun

著者名: 八重樫 哉雅(日本大学),中島 悟(日本大学),橋口 舞(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学),石川 有宰(日本大学),関口 純一(日本大学),浅井 朋彦(日本大学)

著者名(英語): Saiga Yaegashi(Nihon University),Satoru Nakajima(Nihon University),Mai Hashiguchi(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University),Yusai Ishikawa(Nihon University),Junichi Sekiguchi(Nihon University),Tomohiro Asai(Nihon University)

キーワード: 同軸プラズマガン,ホイスラ―合金

要約(日本語): Fe2TiAl系フルホイスラ―合金は有害元素を含まず，理論的に高い熱電能を有すると考えられている．しかし，各元素配合量の僅かな変化がゼーベック係数の大きさや符号に影響することが分かっており，制御の困難さが応用上の期待を低下させている．そこで我々が着目したのが同軸プラズマガン (Coaxial Plasma Gun, CPG) (1)を用いた堆積法である．本稿ではCPGを用いた合金堆積装置の開発の為，この手法によってAl微粒子を放出させた結果について報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 364 Kバイト