パルスレーザ照射によるSrTiO3アブレーションプルームからのイオン引出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-090

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル：パルスレーザ照射によるSrTiO₃アブレーションプルームからのイオン引出

タイトル(英語): Ion extraction from SrTiO₃ ablation plums generated by pulsed laser beam irradiation

著者名: 鹿沼 將(日本大学),鈴木 薫(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学)

著者名(英語): Sho Kanuma(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University)

キーワード: パルスレーザ,イオン引出

要約(日本語): 我々は新たな堆積法としてイオンビームを集束させ基板表面に堆積させる堆積法を検討している。そのためにイオン源からイオンを集束して引き出す技術の開発を行っている。今回の実験ではイオン源にSrTiO₃をパルスレーザを照射し得られたアブレーションプルームを用いて、そこから発生するイオンを電界によって引き出すことを試みた。引出電極に電圧を印加し得られる電流を比較検討した。印加電圧が大きくなるほど電流値は増加したことから、引き出せるイオンの量が増加したと考えられる。また、印加電圧の極性によって電流の極性も変化した。このことは電圧の変化によって引き出せるイオン種の選択が可能であることを示唆している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 382 Kバイト